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标准号:GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
作者:国家标准全文公开系统
发布时间:2017-09-07
来源:
中文标准名称:太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
英文标准名称:Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)H17
国际标准分类号(ICS)77.040.30
发布日期2015-12-10
实施日期 2017-01-01
主管部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注: