标准号：GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

中文标准名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

英文标准名称：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）N26

国际标准分类号（ICS）17.220.20

发布日期2015-05-15

实施日期 2016-01-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：