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标准号:GB/T 31472-2015 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
作者:国家标准全文公开系统
发布时间:2017-09-11
来源:
中文标准名称:X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
英文标准名称:Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)N26
国际标准分类号(ICS)17.220.20
发布日期2015-05-15
实施日期 2016-01-01
主管部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注: