标准号：GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

中文标准名称：掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

英文标准名称：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped, phosphorus-doped, and arsenic-doped silicon

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H80

国际标准分类号（ICS）29.045

发布日期2014-12-31

实施日期 2015-09-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：