标准号：GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

中文标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

英文标准名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H26

国际标准分类号（ICS）77.040.99

发布日期2014-12-31

实施日期 2015-09-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：