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标准号:GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
作者:国家标准全文公开系统
发布时间:2017-09-11
来源:
中文标准名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文标准名称:Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)J04
国际标准分类号(ICS)17.040.20
发布日期2014-09-30
实施日期 2015-04-15
主管部门:中国科学院
归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注:2014年第22号公告