标准号：GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

中文标准名称：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

英文标准名称：Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H21

国际标准分类号（ICS）77.040

发布日期2014-07-24

实施日期 2015-04-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2014年第19号公告