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    标准号:GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

    作者:国家标准全文公开系统
    发布时间:2017-09-11
    来源:

    中文标准名称:蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

    英文标准名称:Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

    标准状态:现行

    在线预览

    中国标准分类号(CCS)H21

    国际标准分类号(ICS)77.040

    发布日期2014-07-24

    实施日期 2015-04-01

    主管部门:国家标准化管理委员会

    归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

    发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

    备注:2014年第19号公告

    京公网安备 11011402011481号

    京ICP备12047668号-1