标准号：GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

中文标准名称：表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

英文标准名称：Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）G04

国际标准分类号（ICS）71.040.40

发布日期2014-03-27

实施日期 2014-12-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2014年第11号公告