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    标准号:GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

    作者:国家标准全文公开系统
    发布时间:2017-09-11
    来源:

    中文标准名称:表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

    英文标准名称:Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

    标准状态:现行

    该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准,由于涉及版权保护问题,本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物,请联系中国标准出版社。

    中国标准分类号(CCS)G04

    国际标准分类号(ICS)71.040.40

    发布日期2014-03-27

    实施日期 2014-12-01

    主管部门:国家标准化管理委员会

    归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

    发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

    备注:2014年第11号公告

    京公网安备 11011402011481号

    京ICP备12047668号-1