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标准号:GB/T 30116-2013 半导体生产设施电磁兼容性要求
作者:国家标准全文公开系统
发布时间:2017-09-11
来源:
中文标准名称:半导体生产设施电磁兼容性要求
英文标准名称:Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)L95
国际标准分类号(ICS)
发布日期2013-12-17
实施日期 2014-04-15
主管部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注: