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标准号:GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
作者:国家标准全文公开系统
发布时间:2017-09-11
来源:
中文标准名称:用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
英文标准名称:Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)L90
国际标准分类号(ICS)31.030
发布日期2013-11-12
实施日期 2014-04-15
主管部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注: