标准号：GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

中文标准名称：光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

英文标准名称：Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H82

国际标准分类号（ICS）29.045

发布日期2013-11-12

实施日期 2014-04-15

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2013年第22号公告